多晶硅还原炉钟罩（炉筒），新型智能清洗技术

多晶硅主要由工业硅、氯气和氢气制备而来，位于光伏及半导体产业链的上游，根据用途可分为太阳能级多晶硅和电子级多晶硅。多晶硅是生产单晶硅的直接原料，是人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料。
 

现有技术中，目前主要靠人工清理，由于作业时炉筒表面会有各种有毒气体溢出或残留，给清理人员带来健康和安全风险;同时,很难找到快速、有效的方法清理垢层,传统方法的清理时间一般在一小时以上,而且清理并不彻底。清理后的粉尘又会污染十万级洁净车间，传统的机械清理方法对还原炉底盘的损伤也比较大。在现在质量要求越来越高的情况下，还原炉底盘的清洗迫切需要一种革新性的清洗手段。
 

德高洁电子级多晶硅钟罩清洗系统自动化程度高，用PLC+触摸屏柔性自动控制系统，能实现对还原炉钟罩的自动清洗和烘干，清洗烘干时间、温度、清洗、漂洗等工艺参数可以根据需要自行调整设定，同时具有半自动或手动功能。一次吊装在一个工作台上完成全部清洗、烘干过程，可实现远程对楼下设备的控制和主要参数监控。

全密闭式清洗烘干系统，使污染物(废气、废水等)在受控的条件下，按设计出口排放，基本消除了对现场及操作人员的污染。核心部件、元件和附件原装进口保证了电子级多晶硅钟罩清洗系统性能的可靠，可以在一套系统实现多种型号钟罩的清洗烘干。目前，德高洁在多晶硅还原炉清洗行业已拥有国内90%的用户，为多晶硅行业提供了几十套还原炉清洗系统。
 
电子级多晶硅还原炉钟罩自动清洗系统特点：
1、多晶硅还原炉钟罩清洗系统以水为动力，以水力自驱动三维清洗器为喷头，形成360° 3D形式的网状喷射来完成炉筒内部表面的水力扫射。
2、采用可以旋转和升降的清洗吹干执行机构，根据还原炉每个视孔镜相对原点的相对位置进行准确定位。可自动切换不同清洗液及吹干，通过控制系统可对清洗、吹干时间等进行调整。清洗时只需一键操作即可，操作简单方便。
3、根据还原炉底部法兰的结构特设计升级后的清洗工作台，不仅可以满足对内壁和视孔镜的清洗，同时也满足了底部法兰的清洗。可实现对法兰内边缘的清洗，保证整个法兰底部都被清洗液覆盖，并清洗、吹干。
4、在整个还原炉的清洗过程中，清洗、干燥中筒内形成微负压状态，防止清洗外溢，同时将底座与筒体下法兰处的污染物等一并吹扫，通过排污管排出，从而保证了整个过程不会对洁净区造成污染。