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    多晶硅还原炉钟罩内部清洗方法及清洗装置

    2024-08-27 15:01:03  来源:德高洁
    在生产多晶硅的生产技术中,改良西门子法为主要的生产方法。在生产多晶硅棒的过程中,将三氯氢硅(SiHCl3)和氢气(H2)按一定比例混合后通往还原炉钟罩内,还原炉内设有有用于提供附着体的硅芯。在反应器温度达1000~1200℃时,三氯氢硅被氢气还原后,生成硅并不断附着在硅芯上,*终得到硅棒。多晶硅还原炉是这一生产过程中至关重要的设备,而钟罩作为还原炉的重要组成部分,其功能和维护同样不可忽视。
     
    多晶硅还原炉内部污垢清洗设备

    一、多晶硅还原炉钟罩的作用

    1、功能: 钟罩是还原炉中的关键部件,它负责收集还原过程中产生的气体,防止这些气体直接进入炉体或其他部位,保证炉内环境的稳定。
    2、结构: 钟罩通常由耐高温和耐腐蚀材料制成,能够承受还原过程中产生的高温和化学反应产生的腐蚀性气体。

    二、清洗的必要性

    1、防止堵塞: 长时间使用后,钟罩内部可能积累沉积物和污染物,这些沉积物可能导致气体流动不畅,甚至堵塞气体通道。
    2、提高效率: 定期清洗钟罩可以确保气体的顺畅流动,维持炉内的温度和化学反应稳定,从而提高生产效率和产品质量。
    3、减少故障: 清洗可以减少设备故障的风险,延长钟罩的使用寿命。
     
    多晶硅还原炉内部污垢清洗

    三、清洗步骤
    1、停机准备: 在进行清洗之前,必须确保还原炉已经完全停机并冷却,以避免高温和潜在的危险。
    2、拆卸钟罩: 根据设备的设计,拆卸钟罩可能需要使用专用工具。注意拆卸过程中保护好周围的设备和管道。
    3、初步检查: 检查钟罩的状态,记录任何明显的损坏或磨损。必要时,进行修理或更换部件。

    四、清洗过程:
    德高洁自主研发并投入使用了一套多晶硅还原炉钟罩自动清洗烘干系统,由高压热水清洗系统、热风净化烘干系统、清洗工作台及管道、电气控制系统等组成,能够自动化完成还原炉钟罩内部的自动清洗及烘干,提高还原炉钟罩清洗效率及质量。
     

     
    1、系统清洗流程:还原炉钟罩到位→预清洗→清洗剂(碱液)清洗→漂洗→高纯水冲洗→净化热空气干燥→常温干燥→钟罩吊走,一套系统实现多种型号还原炉钟罩的清洗烘干。一次吊装在一个工作台上完成全部清洗、烘干过程,可实现远程对楼下设备的控制和主要参数监控。
    多晶硅还原炉钟罩前后清洗对比

    2、系统清洗原理:工作原理以高压水动力装置产生的热水射流为动力,以水力自驱动三维的洗罐器为执行喷头,在一定的工作时间形成360°的网状喷射表面,完成钟罩内部表面的水力扫射,用氢氧化钠溶液等为主要清洗液,用脱盐水预洗、漂洗,高纯水冲洗,完成清洗过程。清洗过程中三维清洗喷头在选装过程中可自动升降,因此可以全面的对还原炉钟罩内部进行清洗,确保还原炉钟罩内部的清洗质量。

    德高洁是一家成立于1994年的清洁环保设备供应商,公司拥有20余人研发团队,旗下部署工艺组、技术组、质检组,实时管控产品性能、质量,并通过ISO9001质量体系认证,长期服务于国企、军工、外资、上市公司等企业,德高洁自2007年起便开始研发高效率、高环保、高质量的自动化清洗系统,期间自主研发了针对罐车、反应釜、多晶硅还原炉钟罩、吨桶、罐式集装箱、蒸发罐、发酵罐等容器自动清洗系统,可根据企业实际生产工况量身定制自动化清洗解决方案,如您有需求,欢迎电话联系,我们将竭诚为您服务
     
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    李周 先生
    售前工程师
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