在生产多晶硅的生产技术中，改良西门子法为主要的生产方法。多晶硅还原炉是多晶硅生产中产出*终产品的核心设备，其主要由钟罩、底盘、电极等关键部件组成，也是决定系统产能、安全的关键环节。
在多晶硅生产中，还原炉炉内温度1080-1100，tcs和氢气在还原炉钟罩内部反应。在反应过程中，还原炉钟罩表面上会沉积一定厚度的多晶硅副产物、硅粉等。但多晶硅生产对还原炉的沉积环境的洁净度要求特别关键，任何颗粒性杂质、物料等物质余留在炉内，都会对产品质量造成影响。所以在还原炉运行一个周期结束后，需要对还原炉钟罩内部进行充分的清洗。
德高洁多晶硅还原炉钟罩自动清洗设备，由高压热水清洗动力装置、热风净化烘干机组、清洗烘干工作台及管道，电气控制系统组成，能够代替人工完成多晶硅还原炉钟罩的清洗及烘干流程。系统采用PLC+触摸屏全自动控制，全套德高洁版控制软件，操作简单自动化程度高，还原炉钟罩到位→预清洗→清洗剂(碱液)清洗→漂洗→高纯水冲洗→净化热空气干燥→常温干燥→钟罩吊走。
清洗原理：清洗时以高压水射流为动力的自驱动三维旋转喷头形成360°，的网状高压水柱喷射表面，从而完成钟罩内部表面的水力扫射，并采用浓度10％以上碱液为主要清洗液。先用纯水漂洗、然后碱液，之后再采用高纯水冲洗，*终完成清洗过程。清洗过程中三维清洗喷头在选装过程中可自动升降，因此可以全面的对还原炉钟罩内部进行清洗，确保还原炉钟罩内部的清洗质量
系统烘干原理：完成充分的清洗后，用净化热风烘干装置，净化热风烘干装置设置有进风、净化、排风、风机、加热部件，出风口受控加热。经过三级净化(10万级)的纯净空气，通过梯级加热，通过连续干燥，完成干燥过程。
密闭清洗方法：整个还原炉钟罩内部清洗及烘干过程中，在密闭环境下进行，设置耐酸碱和耐高温的橡胶密封圈于钟罩和工作台的连接面处，清洗时废气挥发及废水飞溅对周围环境及工作人员造成负面影响。
德高洁多晶硅还原炉钟罩自动清洗系统，从操作简单，自动化程度高，整套系统安全可靠，程度稳定，目前系统已经覆盖90%的多晶硅生产企业，为多晶硅还原炉生产厂家提供更加环保、高效、安全的还原炉钟罩自动清解决方案，欢迎电话联系，德高洁竭诚为您服务。
扫一扫，手机浏览
